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包头市九原区110国道北鹿飞水泥厂北400米
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水泥试验仪器涉及所有物理量的测量,对于材料、工程科学、能源科学关系密切。目前的发展趋势有以下几点:
(1)具有自然参照性的可追溯性和传播性,同时在不同地区进行比较。如果无法比较,将不得不依赖其他国。
(2)高精度。当前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,超过0.18μm。 2009年的线宽预测为0.07μm。如果定位要求是线宽的1/3,则精度要求在10 nm左右,并且晶圆尺寸仍在增加,达到300 mm。这意味着,相对于-8的幂,测量定位系统的精度优于3×10,并且相对于-9的幂,激光频率稳定化的相应精度应在10的数量级上。
(3)高速度。目前,加工机的速度已提高到1 m / s以上,1980年代以前开发的仪器无法满足市场需求。
(4)高灵敏,高分辨率和小型化,光谱仪在电路板上的集成。
(5)标准化。通信接口曾经是GPIB和RS232,而可以替代的高性能标准是USB,IEEE1394和VXI。现在,正在尝试控制技术标准,参与标准制定是仪器开发的基础研究之一。
我国仪器科技的发展趋势:
(1)由于模仿国外产品的长期习惯,我国的仪器行业缺乏创新能力,无法跟上科学研究和土木工程的需求。
(2)我国仪器科学与技术研究领域已经收集了大量的科学研究成果,其中许多处于先进水平,需要选择,改进和转化,但是工业化程度很低,没有形成具有竞争力的完整产业。
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